一级RO反渗透+EDI电去离子工艺已经在制取超纯水领域得到广泛应用，该制取超纯水工艺不仅全自动化控制程度高、无需使用化学药剂、无酸碱再生无废水排放、设备占地面积小、无需专门人员看守，而且出水水质稳定，设备维护简单方便。